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Sistema de recozimento a laser de wafer

Recozimento a laser ultrapreciso para fabricação avançada de chips. A distribuição uniforme de energia garante um tratamento consistente do wafer. O processo sem contato evita danos à superfície do semicondutor. A calibração automatizada se adapta a diversas especificações de wafer.

MarcaLe Cheng
A Origem do ProdutoXangai
O tempo de entregaTrês meses
A capacidade de abastecimentoCinquenta conjuntos dentro do ano

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Características estruturais

O sistema de recozimento a laser de wafer apresenta um design modular com fontes de laser configuráveis (308 nm/532 nm/1064 nm) e estágio de movimento de alta precisão com mancais de ar (precisão de posicionamento de ±1 μm). O sistema compacto de 2 m x 2 m, compatível com salas limpas, integra monitoramento de temperatura em tempo real e ajuste automático de foco para controle consistente do processo.

Wafer Laser Annealing System

Vantagens técnicas

Recozimento de precisão: densidade de energia ajustável de 0,1-5 J/cm² com controle de temperatura de ±1℃
Alto rendimento: processa de 100 a 500 sites por segundo (100x mais rápido que RTP)
Processamento seletivo: permite o recozimento em nível de transistor único
Danos não térmicos: pulso ultracurto evita aquecimento do substrato
Controle Inteligente: otimização de parâmetros baseada em IA e detecção de defeitos

Aplicações típicas

Dispositivos Lógicos Avançados: Recozimento de fonte/dreno para nós de 7 nm/5 nm
3D NAND Flash: Recozimento de contato para estruturas de memória verticais
Dispositivos de energia: recozimento SiC/GaN para melhor mobilidade
CIS Manufacturing: Melhoria de desempenho em nível de pixel
Empacotamento avançado: recozimento de interconexão para CIs 2,5D/3D

Dados-chave de desempenho:

Parâmetro	Especificação
Tamanho do wafer	4-12 polegadas
Comprimento de onda	308/532/1064 nm selecionável
Densidade de energia	0,1-5J/cm²
Precisão de posicionamento	±1μm
Taxa de transferência	100-500 sites/seg
Controle de temperatura	±1℃

Os recursos avançados de controle de processo do sistema o tornam ideal para a fabricação de semicondutores de última geração, proporcionando desempenho superior do dispositivo e mantendo alto rendimento e produtividade.

As especificações são apenas indicativas - Todos os equipamentos são totalmente personalizáveis de acordo com suas necessidades!

Quanto tempo demora entre o pedido do equipamento e a produção oficial quando cooperamos com a Locsen?
O cronograma geral varia de acordo com as especificações do equipamento e a escala da linha de produção. Para equipamentos autônomos, os modelos padrão exigem um ciclo de fabricação de 45 dias, com duração total (incluindo envio e instalação) de aproximadamente 60 dias. Equipamentos personalizados exigem um prazo adicional de 30 dias, com base nos requisitos técnicos. Para soluções de linha completa: • Linhas de produção de nível de 100 MW requerem ~4 meses para planejamento, fabricação de equipamentos, instalação e comissionamento • As linhas de produção de nível GW requerem ~8 meses Fornecemos cronogramas detalhados de projetos com gerentes dedicados, garantindo uma coordenação perfeita. Exemplo: a linha de produção de perovskita de 1 GW de um cliente foi concluída 15 dias antes do previsto, por meio da fabricação paralela de equipamentos e construção de instalações.
A Locsen oferece equipamentos adequados e soluções de parceria para empresas iniciantes de perovskita?
A Locsen oferece um "Programa de Parceria em Fases" projetado especificamente para startups de perovskita. Para a fase inicial de P&D, fornecemos equipamentos compactos em escala piloto (por exemplo, sistemas de gravação a laser de 10 MW) junto com pacotes de processos essenciais para facilitar a validação da tecnologia e a iteração do produto. Durante as fases de expansão, as startups se qualificam para benefícios de atualização: • Módulos principais de equipamentos piloto podem ser negociados com dedução de valor para máquinas de linha de produção • Colaboração técnica opcional, incluindo suporte ao desenvolvimento de processos e compartilhamento de dados experimentais Este programa permitiu com sucesso que diversas startups fizessem uma transição tranquila do laboratório para a produção piloto, ao mesmo tempo em que reduzia os riscos de investimento em estágio inicial.
O equipamento da Locsen suporta células solares de perovskita de tamanhos variados? Qual é a dimensão máxima suportada?
O equipamento laser da Locsen apresenta compatibilidade de tamanho excepcional, capaz de processar células solares de perovskita variando de 10 cm x 10 cm a 2,4 m x 1,2 m. Para processamento de células superdimensionadas (por exemplo, substratos rígidos de 12 m × 2,4 m), oferecemos sistemas de laser do tipo pórtico personalizados com sincronização de múltiplos cabeçotes de laser para garantir precisão e produtividade. • Desempenho comprovado: células de 1,2 m × 0,6 m processadas com sucesso com precisão de marcação líder do setor (± 15 μm) e uniformidade (＞ 98%) • Design modular: módulos ópticos intercambiáveis adaptam-se a espessuras variadas (0,1-6 mm) • Calibração inteligente: o alinhamento do feixe em tempo real assistido por IA compensa a deformação do substrato
A Locsen fornece soluções de laser personalizadas para todos os principais estágios de produção de células solares de perovskita?
Sim, a Locsen fornece soluções abrangentes de processamento a laser que abrangem toda a cadeia de produção de células solares de perovskita: Marcação a laser P0: para identificação de células após deposição de filme P1/P2/P3 Laser Scribing: Padronização de precisão de • Camadas condutoras transparentes (P1) • Camadas ativas de perovskita (P2) • Eletrodos traseiros (P3) Isolamento de borda P4: corte de borda em nível de mícron para evitar curto-circuito Módulos de células tandem: sistemas de gravação a laser dedicados para processamento de camadas multimateriais Nosso ecossistema de equipamentos integrados garante que todos os requisitos de processamento a laser sejam atendidos com: • Precisão de alinhamento ≤20μm entre camadas • Zona de Efeito Térmico controlada abaixo de 5μm • Plataformas modulares que dão suporte à P&D para produção em escala GW
Quais faixas de tolerância de composição as ferramentas de Locsen suportam para formulações de perovskita variantes?
Os sistemas de laser da Locsen demonstram adaptabilidade excepcional a diversas composições de perovskita. • Parâmetros pré-carregados: configurações otimizadas para formulações convencionais (por exemplo, FAPbI₃, CsPbI₃) na biblioteca de receitas de laser permitem acesso instantâneo ao operador • Suporte de P&D: para novas composições (por exemplo, perovskitas baseadas em Sn), nossa equipe oferece: Calibração personalizada de comprimento de onda/fluência em 72 horas Validação de desempenho garantindo<1% PCE degradation post-processing • Smart Compensation: On-board spectroscopy modules monitor reflectivity in real-time, automatically adjusting: Pulse duration (20-500ns) Beam profile (Top-hat/Gaussian) Energy density (0.5-3J/cm²) Technical Highlights: ▸ Tolerance for ±15% stoichiometric variation in Pb:Sn ratios ▸ Support for 2D/3D hybrid phase patterning ▸ Non-contact processing avoids cross-contamination

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