Perfilômetro de agulha: um instrumento de metrologia de superfície de contato de ultraprecisão
Princípio de funcionamento
O perfilômetro de apalpador opera por meio do contato físico direto entre uma sonda com ponta de diamante e a superfície da amostra. À medida que o apalpador atravessa a superfície, picos e vales microscópicos induzem deslocamentos verticais, que são convertidos em sinais elétricos por meio de sensores. Esses sinais são processados por meio de pontes de medição, amplificação, retificação sensível à fase e filtragem para gerar uma saída de variação lenta proporcional ao movimento do apalpador, reconstruindo assim a topografia da superfície.
Características do instrumento
1. Alta precisão
Resolução vertical sub-angstrom (≤0,1 nm)
Mede variações de altura de escalas de mícron a nanômetro
Captura dados abrangentes: topografia, rugosidade, ondulação
2. Estabilidade Excepcional
Alta repetibilidade (σ < 0,5% @ passo de 1μm)
Medições reproduzíveis para detalhes topográficos sutis
3. Operação amigável ao usuário
Sistema de navegação com visão colorida opcional
Tecnologia de sonda magnética para substituição rápida da ponta (<30 seg)
Função de nivelamento automático e software intuitivo com módulos de calibração
4. Capacidades multifuncionais
Mede altura do degrau, espessura do filme, rugosidade, estresse, etc.
Suporta modos de digitalização multizona e 3D
Análise estatística SPC integrada (por exemplo, cálculos Cp/Cpk)
Campos de Aplicação
Indústria de semicondutores
Medição de altura de degrau em película fina (camadas PVD/CVD)
Caracterização do perfil de fotorresistência
Quantificação da taxa de corrosão
Monitoramento CMP (Polimento Químico-Mecânico)
Fotovoltaica
Análise de espessura de revestimento para células solares
Medição da altura do degrau pós-gravação
Otimização de desempenho de células de perovskita/CIGS
